Описание оборудования
Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин. Продуманная конструкция и надежность позволяют осуществлять измерения с высокой точностью и воспроизводимостью. Компания 4 Dimension предлагает ряд конфигураций систем серии 280I:
- 280 PI Базовое исполнение в серии. Автоматически измеряет 1, 5 и 9 областей контроля с возможностью выведения результатов на печать. Измерительный диапазон: 1 мОм – 800 кОм
-
280 PCI В дополнение к функционалу 280 PI имеет возможность построения ВАХ, хранит в памяти до 15 программ проведения измерений, комплектуется отдельным персональным компьютером
-
280 SI Комплектуется персональным компьютером под управлением ОС MS Windows, поддерживает хранение библиотеки методик контроля, ведение статистики измерений, измерения p-n переходов, поддержка интерфейса SECS-II, диагностики, а так же многих других функций
-
280 TSI Имеет аналогичный функционал с 280 SI, дополненный температурной компенсацией
-
280 TCI В дополнении к функциям 280 TSI имеет пакет статистического управления процессом
-
280 DI В дополнении к функциям 280 SI обладают расширенным диапазоном измерений до 800 ГОм
-
280 HCI Обладает аналогичными функциями с 280 TCI, дополнительно обладая высокотемпературной камерой
Особенности:
-
Программное обеспечение Automap 280I
-
Карта распределения удельного сопротивления по поверхности пластины
-
Тестирование p-n переходов
-
Измерение объемного сопротивления
-
Сканирование сопротивления по диаметру
-
Статистический анализ данных
-
Компенсация изменения толщины, температуры и краевых эффектов
-
Хранение данных в организованных библиотеках
Требования к помещению:
Потребление электроэнергии: 100 – 220 В, 50-60 Гц, 200 Вт
Вакуумный зажим: 20 мм. рт. ст.
Габаритные размеры (ДхШхВ): 547х508х635 мм
Измерительные головки:
В зависимости от задач предлагается широкий набор измерительных головок и наконечников.
Основные характеристики
Размеры пластин |
50, 75, 100, 125, 200 мм |
---|---|
Размер мертвой зоны |
3 мм от края пластины |
Дополнения |
Функция «быстрых» измерений |
Шаг между измерениями |
0,1 мм |
Максимальное количество измерительных точек |
6000 |
Измерительный диапазон |
1 мОм – 8 ГОм |
Воспроизводимость измерений |
< 0,2% |
Точность |
< 0,1% |
Разрядность АЦП измерителя тока |
16 Бит |
Прикладываемое напряжение |
до 125 В |
Сервис и ремонт измерительного оборудования
ФОРМА ДЛЯ
ОБРАТНОЙ СВЯЗИ
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.
Напишите свой вопрос, укажите интересующее оборудование.